دانلود مقاله ترجمه شده آرایه سنسور گاز تک چیپی برای مانیتورینگ کیفیت هوا

این مقاله به تشریح روش ساخت یک آرایه سنسور گاز چهار المانی برای مانیتورینگ آلاینده‌های هوا، شامل CO, CO2, NO2,  و SO2 می‌پردازد. چهار میکروهیتر از یک دیافراگم معلق SiO2 به صورت مشترک استفاده کرده و از تقریب گرمایی نیز برای کاهش مصرف توان استفاده می‌کنند (∼10 mW برای 300 °C). دیافراگم بخار شیمیایی  SiO2 با پلاسمای تقویت شده نیز برای رسیدن به نتیجه بهتر در مقایسه با دیافراگم SiO2 ی تقویت شده به صورت حرارتی، در این مقاله معرفی شده است. المان‌های آرایه سنسور با تخصیص هر یک از المان‌ها برای حسگری یک گاز خاص، با استفاده از مواد حسگری مختلف، ساخته می‌شود. فیلم‌های نازک بهینه‌سازی شده ZnO, BaTiO3-CuO با ناخالصی 1% Ag  WO3, و V2O5 برای انتخاب حسگری هر یک از گازهای CO, CO2, NO2, و SO2 به کار رفته‌اند. چهار سنسور را می‌توان به صورت مستقل از هم طوری کنترل نمود که در دماهای مختلف عمل کنند تا قدرت انتخاب بالاتری برای تست گازهای مختلف حاصل شود. آرایه سنسور روی یک کلاهک Kovar سوار شده است و سپس برای حسگری گازهای مختلف به کار رفته است. همچنین در این مقاله اثبات شده است که سنسورها حساسیت و قابلیت انتخاب خوبی از خود نشان می‌دهند. ما حداکثر پاسخ قابل تکرار را برای CO (∼78.3% برای 4.75 ppm), CO2 (∼65% برای 900 ppm),، NO2 (∼1948.8% برای 0.9 ppm), و SO2 (∼77% برای 3 ppm) به ازای دمای کار 330 ^oC، 298 °C, 150  °C, و 405 °C به دست آورده‌ایم.

در ادامه تلاش‌هایی که در زمینه بهبود کیفیت هوا صورت می‌گیرد، روش‌هایی برای کاهش مؤثر گازهای سمی مختلف و آلاینده‌های گوناگون با حساسیت و قابلیت انتخاب بالا با استفاده از اکسیدهای فلزی نیمه‌هادی مورد بررسی قرار گرفته‌اند.